近期，我司聯(lián)合上海光機(jī)所精密光學(xué)制造與檢測中心通過持續(xù)的技術(shù)攻關(guān)，在“低污染離子束拋光裝備研制及工藝”上取得重要突破。低污染離子束拋光裝備具有加工污染低、去除函數(shù)精度高、收斂效率快、可以針對特定光學(xué)指標(biāo)進(jìn)行修復(fù)的特點(diǎn)，可有效提升強(qiáng)激光元件的修形效率、修形精度及表面質(zhì)量。  

       離子束拋光裝備是強(qiáng)激光、空間探測、納米光刻等高新技術(shù)領(lǐng)域的核心關(guān)鍵裝備。目前離子束拋光裝備普遍存在修形過程的污染問題，會極大的影響被加工元件的損傷閾值，限制了元件的使用范圍；而且現(xiàn)有離子束裝備修形方式單一，無法對不同的指標(biāo)需求實(shí)現(xiàn)針對性的去除，效率低。  

       在團(tuán)隊科研人員的努力下：通過真空獲取方式的流場模式分析與控制、低污染離子源結(jié)構(gòu)設(shè)計優(yōu)化以及引進(jìn)束流預(yù)清洗等技術(shù)，可以有效實(shí)現(xiàn)離子束拋光裝備的低污染加工；基于對離子束加工熱效應(yīng)影響去除非線性的特征，提出了變去除函數(shù)模式對非線性過程進(jìn)行補(bǔ)償，實(shí)現(xiàn)了高精度去除函數(shù)pm精度計算算法；結(jié)合實(shí)際工藝需求，開發(fā)了針對低頻PV、梯度GRMS和中頻PSD-1等不同參數(shù)的定制化加工算法，可使目標(biāo)指標(biāo)快速收斂，極大地提高了加工效率。

       利用自研樣機(jī)對樣件的加工全方位驗證了上述系列關(guān)鍵技術(shù)。低污染離子束拋光樣機(jī)核心器件國產(chǎn)化率達(dá)100%，該設(shè)備的研制成功和工藝技術(shù)的進(jìn)展可以進(jìn)一步打破我國在該類加工設(shè)備領(lǐng)域面臨的進(jìn)口受限的局面。